SEM/EDX扫描电子显微镜/能谱仪

       受限于人眼可观测的光（可见光）波长，人们借助光学显微镜通常能够观测的放大

倍率极限在2000倍左右。如果我们需要更高放大倍率去观测更微小的结构，通常需要用到

扫描电子显微镜。

       扫描电子显微镜的原理是依据电子与物质的相互作用。 当一束高能的入射电子轰击

物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、X光信号、背散射电子、透射电子， 以及

在可见、 紫外、红外光区域产生的电磁辐射。根据信号强度组成形貌照片，能高倍率观察

表面外观形貌。 原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物

理、化学性质的信息。

       能谱仪的工作原理:探头接受特征X射线信号→把特征X射线光信号转变成具有不同

高度的电脉冲信号→放大器放大信号→多道脉冲分析器把代表不同能量(波长)X 射线的脉冲

信号按高度编入不同频道→在荧光屏上显示谱线→利用计算机进行定性和定量计算。能谱仪

通常作为扫描电子显微镜的附属配件，搭配扫描电子显微镜使用。

       通过扫描电子显微镜和搭配使用的能谱仪，可以用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、

观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析

异常污染物的化学元素组成。