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FA失效分析测试项目

SEM/EDX扫描电子显微镜/能谱仪

发布时间:2022-01-07


       受限于人眼可观测的光(可见光)波长,人们借助光学显微镜通常能够观测的放大

倍率极限在2000倍左右。如果我们需要更高放大倍率去观测更微小的结构,通常需要用到

扫描电子显微镜。

       扫描电子显微镜的原理是依据电子与物质的相互作用。 当一束高能的入射电子轰击

物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、X光信号、背散射电子、透射电子, 以及

在可见、 紫外、红外光区域产生的电磁辐射。根据信号强度组成形貌照片,能高倍率观察

表面外观形貌。 原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物

理、化学性质的信息。

       能谱仪的工作原理:探头接受特征X射线信号把特征X射线光信号转变成具有不同

高度的电脉冲信号放大器放大信号多道脉冲分析器把代表不同能量(波长)X 射线的脉冲

信号按高度编入不同频道在荧光屏上显示谱线利用计算机进行定性和定量计算。能谱仪

通常作为扫描电子显微镜的附属配件,搭配扫描电子显微镜使用。

       通过扫描电子显微镜和搭配使用的能谱仪,可以用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、

观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析

异常污染物的化学元素组成。