SAT超声波扫描显微镜无损検查

SAT,全称为Scanning Acoustic Tomography,中文译名为 扫描声波层析成像。早期由于

比较多地采用C扫描模式，所以又被称为C-SAM(Scanning Acoustic Microscope),即超声

波扫描显微镜。它是另外一种常用的无损检查工具。

工作原理：声波可以在液体和固体中传播，但是不能在真空和气体中传播。声波在传输过

程中遇到不同介质的界面时会发生反射和透射，通过扫描式超声波探测器捕捉这些讯号并

经过计算机处理可以形成被扫描样品结构的影像。

在应用上，SAT常用来检测封装好芯片内部的材料脱落、分 层、裂纹、孔洞等缺陷，与

X-Ray分析可以相互补充。在做湿度敏感性测试(MSL)和预处理验证(Pre-condition

Verifica- tion)时，也是必备工具之一。

无锡阿尔法检测实验室采用国际大品牌的SAT工具，配置有从低频(高穿透能力)到高频(高

分辨率)的各种探头，机台支持回波探测成像扫描(C-Scan)和透射成像扫描(T-Scan)两种成

像方式，同时拥有类似CT的三维扫描成像沟通，适用于各种封装器件产品的无损检测。